10月15日，半导体设备ETF（159516）报收1.486元，收跌0.34%，成交金额12.2亿元。同类基金中跌幅最小。

半导体设备ETF成立于2023年07月19日，管理人为国泰基金，基金经理为艾小军。今年以来基金回报48.57%，同类排名263/3388。

半导体设备ETF跟踪的指数为半导体材料设备（931743.CSI）。中证半导体材料设备主题指数从沪深市场中，选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映沪深市场半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

半导体设备ETF（159516）的场外联接基金为：国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接A（019632.OF）、国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接C（019633.OF）。