5月13日，半导体设备ETF国泰（159516）报收1.169元，收涨4.1%，成交金额23.28亿元。主力资金（单笔成交额100万元以上）流入金额达214.9万元，同类基金流入金额第一。

拉长时间看，该基金近5天主力资金净流入，累计流入9.18亿元。

半导体设备ETF国泰跟踪的指数为半导体材料设备（931743.CSI）。中证半导体材料设备主题指数从沪深市场中，选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映沪深市场半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

半导体设备ETF国泰（159516）的场外联接基金为：国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接A（019632.OF）、国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接C（019633.OF）。