受半导体材料靶材龙头江丰电子强势拉升带动，今日半导体设备板块表现活跃。截至收盘，沪指涨0.12%报4098.64点，深成指涨0.80%，创业板指涨1.96%。持仓股中，江丰电子大涨10.71%，沪硅产业涨9.05%，南大光电涨3.01%，北方华创涨0.65%，拓荆科技涨0.84%；中微公司跌0.42%，长川科技跌0.53%。

半导体设备ETF广发(560780)今日上涨1.11%，成交额5.12亿元，换手率14.17%。该ETF近5个交易日累计上涨0.57%，近5日均成交7.36亿元。值得关注的是，基金规模达57.26亿元，创近29个交易日新高（派生口径，57.36亿元）。

同赛道产品中，半导体设备ETF国泰(159516)规模283.04亿元，为同指数5只ETF中规模排名第1/5，属赛道最大产品。该ETF综合费率0.60%/年，为最低一档；近1月跟踪误差0.028%，近1年超基准年化-0.86%，排名第5/5。

据2026年一季报，该ETF前十大权重股合计占比64.91%。当日权重股中，江丰电子以3.51%权重位列第九大持仓，单日涨幅达10.71%；第七大权重股沪硅产业（权重3.80%）今日涨9.05%；第八大权重股南大光电（权重3.69%）涨3.01%。下跌个股中，第十大权重股安集科技跌3.16%，第五大权重股华海清科跌2.65%。

近期台积电计划上调3nm制程价格，带动半导体产业链关注度提升。先进封装含量较高的科创半导体ETF华夏(588170)盘中亦上涨1.95%，显示市场对半导体材料设备赛道的持续聚焦。