半导体设备ETF国泰(159516)今日上涨7.389%，成交额32.55亿元，换手率13.39%，规模约243亿元。该ETF近5个交易日累计上涨15.96%，近5日均成交30.27亿元。成交口径数据显示，上一交易日该ETF遭遇主力资金净流出1.89亿元，已连续3个交易日出现主力资金净流出，近5个交易日主力资金累计净流出1.05亿元。值得注意的是，该ETF在近10个交易日中仍录得主力资金累计净流入7.45亿元，显示短期获利了结压力与中期资金关注并存。

持仓股中，据2026年一季报，第一大权重股中微公司今日上涨10.03%，第三大权重股拓荆科技涨12.84%，第四大权重股长川科技涨9.82%，第五大权重股华海清科涨10.50%，第九大权重股安集科技涨5.47%，前十大权重股合计占比64.78%。

份额变动方面，申赎口径数据显示，上一交易日该ETF获净申购3.44亿份，已连续3个交易日（6月12日至6月16日）获净申购，近5个交易日（6月10日至6月16日）累计净申购8.08亿份，呈现资金借道ETF逆势加仓的态势。

同赛道ETF中，半导体设备ETF广发(560780)今日上涨7.7%，成交额4.52亿元；近5个交易日主力资金累计净流入5489万元，上一交易日获净申购2800万份。半导体设备ETF易方达(159558)涨7.42%，成交额9.57亿元，近5个交易日主力资金累计净流入2013万元。

机构方面，国信证券近日发布研报指出，大直径硅材料境外需求增长，定增扩产半导体硅零部件，维持对电子半导体行业“优于大市”评级。