工业和信息化部、国家发展改革委近日联合印发《电子信息制造业发展"十五五"规划》，提出到2030年规模以上企业营业收入突破30万亿元、研发投入强度达到3.5%。政策对半导体材料设备环节的国产化配套提出明确导向，产业链相关标的受到市场关注。

今日大盘整体承压，上证指数跌0.54%、深证成指跌0.72%、沪深300跌0.67%、创业板指跌1.15%，四大指数集体下跌。隔夜美股三大指数亦集体收跌，道指跌0.29%、纳指跌0.56%、标普500跌0.48%。

半导体设备方向走出独立行情。据2026年2季报，科创半导体ETF华夏前十大权重股中，华海清科(688120)今日涨8.64%、拓荆科技(688072)涨7.99%、富创精密(688409)涨4.82%、芯源微(688037)涨3.76%、盛美上海(688082)涨2.48%，前十大权重股合计占比69.24%。

科创半导体ETF华夏（588170）今日上涨3.71%，截至15:00成交额49.85亿元，换手率12.63%，规模382.80亿元，近5个交易日（9月9日至9月15日）累计上涨0.33%。同赛道产品中，科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）今日涨3.81%，截至15:00成交额13.35亿元。

费率与质量维度上，科创半导体ETF华夏管理费率0.5%+托管费率0.1%，综合费率0.6%/年，为同指数3只ETF中费率最低一档；截至9月15日近1月跟踪误差0.018%，规模居同指数3只ETF中第1位。场外联接基金A类024417、C类024418。

估值方面，据Choice数据，科创半导体材料设备指数最新市盈率167.81倍。政策落地后，半导体材料设备的国产替代节奏与订单兑现情况，仍是后续跟踪的主要方向。