今日半导体设备板块活跃，产业链核心设备商华海清科盘中大幅走高，带动材料设备主题指数相关产品走强。中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

大盘方面，今日四大指数整体承压，上证指数报3864.28点跌0.54%，深证成指报13287.97点跌0.72%，沪深300报4450.04点跌0.67%，创业板指报3247.92点跌1.15%。隔夜美股三大指数亦集体收跌，道指跌0.29%、纳指跌0.56%、标普500跌0.48%。

半导体设备ETF国泰（159516）今日上涨3.24%，截至15:00成交额29.55亿元，换手率7.31%；近5个交易日（9月9日至9月15日）累计下跌0.15%，近5日日均成交额20.24亿元，近20日日均成交额30.83亿元，规模393.21亿元。

据2026年2季报，半导体设备ETF国泰前十大权重股合计占比63.74%。持仓股中，中微公司(688012)涨1.84%、北方华创(002371)涨1.94%、拓荆科技(688072)涨7.99%、华海清科(688120)涨8.64%、芯源微(688037)涨3.76%。

同赛道对比看，半导体设备ETF易方达（159558）今日上涨3.35%，截至15:00成交额14.65亿元，规模191.62亿元，居同指数5只ETF中第2位；半导体设备ETF国泰规模393.21亿元，为同指数5只ETF中规模首位。产品费率层面，半导体设备ETF国泰管理费率0.5%加托管费率0.1%、综合费率0.6%/年，为同指数5只ETF中费率最低一档。据中证指数官网数据，半导体材料设备指数最新市盈率123.21倍，股息率0.13%。

规模动态方面，半导体设备ETF国泰最新规模较近20个交易日前减少56.29亿元，降幅12.5%。场外投资者可通过联接基金（A类：019632；C类：019633）参与。