今日半导体材料设备板块强势上行，科创半导体ETF华夏(588170)跟踪的科创半导体材料设备指数盘中明显走高，中科飞测、沪硅产业等核心成分股领涨。

截至9月16日15点15分，上证指数上涨0.71%、深证成指上涨1.26%、沪深300上涨0.68%、创业板指上涨1.96%，四大指数整体为集体上涨，其中创业板指表现居前。

持仓股中，华海清科(688120)今日涨4.29%、中微公司(688012)今日涨6.65%、中科飞测(688361)今日涨9.11%、芯源微(688037)今日涨5.46%、沪硅产业(688126)今日涨8.62%。据2026年2季度基金季报，科创半导体ETF华夏前十大权重股合计占比69.24%。

科创半导体ETF华夏今日涨5.96%，截至15:00成交额67.13亿元，换手率16.62%。近5个交易日（9月10日至9月16日）累计上涨7.01%，近5日日均成交额34.43亿元，近20日日均成交额49.64亿元，规模387.88亿元，居同指数3只ETF中第1位。

同赛道产品方面，科创半导体设备ETF华泰柏瑞(588710)今日涨5.98%、截至15:00成交额14.69亿元，科创半导体设备ETF鹏华(589020)今日涨5.97%、成交额9.01亿元。据产品费率信息，科创半导体ETF华夏管理费率0.5% 托管费率0.1%、综合费率0.6%/年，为同指数3只ETF中费率最低一档；截至9月16日，近1月跟踪误差0.018%。

从规模动态看，科创半导体ETF华夏最新规模较近20个交易日前减少48.88亿元（-11.2%）。据Choice数据，科创半导体材料设备指数最新市盈率166.62倍。

华为近日发布全球首个3D数据中心，半导体设备环节的国产化进程与下游算力基建需求形成呼应，后续材料设备龙头的订单落地与产能释放节奏值得持续跟踪。