半导体设备ETF广发(560780)近期持续遭遇份额缩减。上一交易日（9月18日）该ETF净赎回1.47亿份，至此已连续5个交易日净赎回，9月14日至9月18日的5个交易日累计净赎回7.47亿份。

今日该ETF跌幅0.65%，成交额6.30亿，换手率4.97%。拉长时间看，近5个交易日（9月15日至9月21日）累计上涨11.83%（较9月14日收盘），近5日日均成交额6.53亿元，近20日日均成交额5.99亿元，当前规模127.11亿元。截至9月18日，该ETF收盘折价0.09%。

持仓股方面，据2026年2季度基金季报，中微半导体设备(688012)今日跌0.39%，北方华创(002371)跌1.44%，长川科技(300604)涨1.00%，拓荆科技(688072)涨0.80%，华海清科(688120)跌2.21%。前十大权重股合计占比63.67%。

同赛道ETF份额同步收缩。半导体设备ETF华夏(562590)上一交易日净赎回1.41亿份，近5个交易日累计净赎回4.47亿份；半导体设备ETF易方达(159558)连续2个交易日净赎回（9月17日至9月18日），近5日累计净赎回5.34亿份；半导体设备ETF万家(159327)连续5个交易日净赎回，近5日累计净赎回1.47亿份。

杠杆资金方面，该ETF截至9月18日融资余额1.65亿元，当日融资买入额0.28亿元，近5日融资余额增加。

产品费率与质量维度，半导体设备ETF广发管理费率0.5%+托管费率0.1%，综合费率0.6%/年，为同指数5只ETF中费率最低一档；截至9月18日的近1月跟踪误差0.031%，在同指数5只ETF中误差第1小。该ETF场外联接基金A类代码020639、C类代码020640。

该ETF跟踪中证半导体材料设备主题指数，据中证指数官网编制说明，该指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。据中证指数官网数据，该指数最新市盈率133.57倍，股息率0.12%。

万联证券指出，MLCC龙头村田计划将AI服务器不可或缺的多层陶瓷电容器（MLCC）产能，在2028财年（截至2028年3月）较当前水平提升两成；在AI算力需求催化下，有半导体制造设备关键零部件的交货周期已延长了一倍以上。算力建设方兴未艾，算力产业链中高景气细分赛道如PCB、存储、MLCC等需求旺盛，均处于景气扩张周期，亦有望提振上游设备、先进封装等需求。