10月15日，A股市场早盘低开并震荡调整，沪指失守3700点大关。市场半日成交额达9818亿，较前一交易日增加了1290亿。今日四大指数集体下跌，上证指数报3707.48点，跌1.59%；深证成指报11816.79点，跌2.43%；沪深300报4166.01点，跌1.23%；创业板指报2783.17点，跌2.92%。

专精特新ETF富国(563210)今日下跌3.58%，成交额1079万元，换手率5.96%，跑输沪深300指数。截至10月14日，该ETF规模为1.87亿元，创近60个交易日新低。近5个交易日（10月9日至10月15日）累计下跌8.15%，近5日日均成交额0.11亿元，近20日日均成交额0.10亿元。

据2026年2季度基金季报，专精特新ETF富国前十大权重股合计占比35.75%，集中度较高。权重股今日多数下跌，华海清科(688120)上涨6.07%，拓荆科技(688072)上涨2.56%，为当日少数上涨品种；东芯股份(688110)下跌6.52%，杰华特(688141)下跌6.56%，德明利(001309)下跌6.41%，佰维存储(688525)下跌6.19%，跌幅居前。

资金流向方面（截至10月14日），专精特新ETF富国上一交易日（10月14日）主力资金净流出69万元，10月8日至10月14日的5个交易日主力资金累计净流出108万元，5日净流出率0.6%。

产品费率方面，专精特新ETF富国综合费率为0.6%/年（管理费率0.5%+托管费率0.1%），截至10月14日的近1月跟踪误差为0.073%，近1年超基准年化为+3.61%。该ETF配有场外联接基金（A类：024042；C类：024043）。

国盛证券在10月13日发布的研报中指出，中科飞测(688361)作为半导体量检测国产龙头，2025年营收20.5亿元，毛利率50%。在AI扩产与工艺升级驱动下，量检测设备需求放量，国产替代空间广阔。公司明场设备在成熟制程批量销售，暗场设备订单占比最高，高端产品导入带动量价齐升。对标KLA平台化路径，随着新品验证通过及规模效应显现，研发费率摊薄，预计2026-2028年归母净利润分别为1.41/6.21/9.92亿元，盈利有望快速释放。中科飞测为专精特新ETF富国前十大权重股，占比4.66%，今日下跌1.53%。