隔夜美股三大指数走势分化，道指涨0.02%，纳指跌2.60%，标普500跌1.21%。中韩半导体ETF华泰柏瑞(513310)今日上涨2.10%，成交额174.07亿元，换手率181.79%。

资金流向方面，该ETF上一交易日主力资金净流出2.93亿元，截至10月22日已连续12个交易日主力资金净流出（9月30日至10月22日），区间累计净流出19.91亿元；近5个交易日主力资金累计净流出5.29亿元（10月16日至10月22日）。今日二级市场交投依旧活跃，近5日日均成交额96.62亿元，明显高于近20日日均成交额87.51亿元。

份额变动方面，该ETF上一交易日净申购500万份，已连续9个交易日净申购，近5个交易日累计净申购2500万份，份额创近60个交易日新高。规模方面，该ETF规模创近60个交易日新低，约92.82亿元。

据2026年2季度基金季报，该ETF前十大权重股合计占比74.46%。持仓股中，兆易创新(603986)今日上涨5.51%，寒武纪(688256)上涨5.46%，海光信息(688041)上涨5.28%，中芯国际(688981)上涨4.01%，北方华创(002371)下跌0.83%。近5个交易日，该ETF累计下跌3.3%。

杠杆资金方面，截至10月22日该ETF融资余额7.21亿元，当日融资买入额5.01亿元，近5日融资余额减少。10月22日收盘溢价2.27%，二级市场价格高于基金份额参考净值，注意溢价回落风险。

产品费率方面，该ETF管理费率0.8%加托管费率0.15%，综合费率0.95%/年；截至10月22日的近1月跟踪误差1.477%。场外联接基金A类代码019454，C类代码019455。

方正证券指出，2026年全球半导体设备支出预计增长31%，新厂投产带动材料需求释放。受先进工艺获取限制，本土晶圆厂转向协同创新，推动国产设备、零部件及材料加速替代；设备端向三维结构创新演进，平台化能力成核心，零部件供需趋紧倒逼本土高端产品验证导入，头部材料厂商有望率先受益。