10月28日，芯碁微装(688630)公布2026年三季报，公司营业收入为17.81亿元，同比上升90.8%；归母净利润为4.61亿元，同比上升131.98%；扣非归母净利润为4.55亿元，同比上升135.9%；经营现金流净额为4.83亿元，同比增长1451.05%；EPS(全面摊薄)为3.39元。

其中第三季度，公司营业收入为6.76亿元，同比上升142.1%；归母净利润为1.8亿元，同比上升216.7%；扣非归母净利润为1.77亿元，同比上升212.3%；EPS为1.24元。

截至三季度末，公司总资产72.81亿元，较上年度末增长133.6%；归母净资产为58.47元，较上年度末增152.32%。

报告指出，公司专注于微电子装备的研发和生产，致力于提供高性能的电子产品和解决方案。公司的研发投入合计为4006万元，占营业收入的比重为5.93%。