半导体设备ETF国泰(159516)份额持续收缩。该ETF上一交易日（11月2日）净赎回1500万份，至此已连续10个交易日净赎回（10月20日至11月2日），近5个交易日累计净赎回41.94亿份（10月27日至11月2日），份额创近60个交易日新低。

11月3日10点1分，半导体设备ETF国泰盘中跌幅2.16%，成交额5.42亿元，换手率2.20%，规模251.91亿元。前5个交易日（10月27日至11月2日）累计下跌9.04%（较10月26日收盘）。持仓股中，今日据2026年3季报，中微公司(688012)跌4.34%，北方华创(002371)涨0.66%，拓荆科技(688072)跌0.20%，长川科技(300604)跌2.17%，华海清科(688120)跌1.76%；前十大权重股合计占比67.99%。

持仓变动方面，半导体设备ETF国泰较上季新进了盛美上海(688082)；同时，沪硅产业退出前十大。

同赛道ETF份额同步收缩。半导体设备ETF华夏(562590)上一交易日净赎回1.86亿份，连续8个交易日净赎回（10月22日至11月2日），近5个交易日累计净赎回5.64亿份；半导体设备ETF万家(159327)上一交易日净赎回8100万份，连续8个交易日净赎回，近5个交易日累计净赎回4.86亿份，份额亦创近60个交易日新低；半导体设备ETF广发(560780)上一交易日净赎回4.29亿份，连续10个交易日净赎回，近5个交易日累计净赎回10.29亿份。

该ETF规模较近20个交易日前减少155.84亿元（-38.2%）。该ETF管理费率0.5%加托管费率0.1%，综合费率0.6%/年，为同指数5只ETF中费率最低一档，规模居同指数5只ETF中第1位，场外联接基金A类019632、C类019633。该ETF跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

机构层面，东吴证券指出，2026年三季报总结显示前道规模效应逐步显现，看好国产设备商陆续兑现业绩；前道设备商收入延续增长，中微公司、拓荆科技扣非利润增速显著高于收入，规模效应逐步显现。东吴证券在三季报点评中认为，前十大权重股拓荆科技新产品量产叠加规模效应释放，业绩加速兑现，前三季度归母净利润同比增长336.79%。