半导体设备ETF国泰(159516)今日收跌0.88%，报成交额20.28亿元，换手率4.82%。近5个交易日（8月28日至9月3日）该ETF累计下跌8.75%。资金面上，上一交易日（9月2日）主力资金净流出5600万元，连续4个交易日（8月28日至9月2日）呈现主力资金净流出，区间累计净流出14.79亿元；8月27日至9月2日的5个交易日主力资金累计净流出12.15亿元。

持仓股中，据2026年二季报，前十大权重股合计占比63.74%。今日个股表现分化：中微公司(688012)跌0.84%，北方华创(002371)跌1.67%，中科飞测(688361)跌4.90%，江丰电子(300666)逆势涨0.91%。

份额变动方面，上一交易日（9月2日）该ETF净赎回6.33亿份；不过8月27日至9月2日的5个交易日累计净申购17.34亿份，显示近期资金申赎分歧明显。杠杆资金方面，截至9月2日融资余额17.29亿元，当日融资买入额0.99亿元，近5日融资余额减少。此外，9月2日该ETF收盘折价0.06%。

同赛道产品亦承压。半导体设备ETF易方达(159558)今日跌0.93%，上一交易日主力净流入1958万元，但近5日累计净流出4.97亿元；半导体设备ETF广发(560780)今日跌0.89%，近5日主力累计净流出1.44亿元。三者近5日跌幅均在8.6%以上。

估值方面，据中证指数官网数据，半导体材料设备指数最新市盈率130.19倍，股息率0.13%。该指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为样本。产品层面，半导体设备ETF国泰规模423.12亿元，综合费率0.6%为同指数最低一档，近1月跟踪误差0.056%。

国元证券指出，AI基础设施景气延续，国产算力与折叠终端迎来验证窗口。行业层面，机构统计显示，截至8月30日A股半导体设备行业27家上市公司2026年上半年合计实现营业总收入566.88亿元，同比增长31.06%。