今日半导体设备与存储芯片板块表现活跃，中科飞测等专精特新方向个股集体走强，带动相关主题ETF走热。

截至今日收盘，上证指数上涨0.71%，深证成指上涨1.26%，沪深300指数上涨0.68%，创业板指上涨1.96%，四大指数整体为集体上涨。

据专精特新ETF富国（563210）2026年2季报，其前十大权重股中，中科飞测今日涨9.11%、华海清科(688120)涨4.29%、东芯股份(688110)涨4.76%、拓荆科技(688072)涨4.71%、南大光电(300346)涨3.88%，半导体设备与存储链个股集体走高。

专精特新ETF富国今日上涨3.54%，截至15:00成交额1250万元，换手率5.57%，近5个交易日（9月10日至9月16日）累计上涨1.66%，近5日日均成交额842万元，近20日日均成交额0.13亿元，最新规模2.19亿元。该ETF跟踪恒生A股专精特新企业指数。

据Choice数据，恒生A股专精特新企业指数最新市盈率75.63倍。近期该指数已处近1年估值低位，成分股中长芯博创、长光华芯、天岳先进、炬光科技、中科飞测等个股今日跟涨，板块热度有所回升。

产品费率方面，专精特新ETF富国管理费率0.5% 托管费率0.1%，综合费率0.6%/年；截至9月16日，近1月跟踪误差0.036%，场外联接基金为A类024042、C类024043。

半导体设备与存储芯片作为专精特新企业集中的核心赛道，短期个股弹性和估值修复节奏仍是后续盘面的主要观察方向。